An Riosca Carbónú i dTéitheoirí Aeir Leathsheoltóra
Úsáidtear aer téite ag 200 céim in uirlisí triomú agus glantacháin leathsheoltóra wafer. Is féidir le téitheoirí PFA sa tseirbhís seo cosáin seoltacha carbónaithe a fhorbairt nuair a théann ábhair shalaithe orgánacha dromchla faoi phirealú faoi scaoileadh corónach. Léiríonn anailís chainníochtúil ó 11 fabs leathsheoltóra go laghdaíonn rian éillithe orgánach chomh híseal le 0.1 µg/cm² an fuinneamh gníomhachtaithe le haghaidh graifítiú PFA ó 250 kJ/mol go 180 kJ/mol, ag méadú an riosca carbónúcháin faoi 10x. Seasann dromchlaí glana PFA ar ghraifiú fiú ag 300 céim.
Meicníocht Grafitization agus Fuinneamh Gníomhachtaithe
Dianscaoileann PFA os cionn 360 céim , ach is féidir le scaoileadh corónach (urscaoileadh páirteach leictreach) bannaí C-F a bhriseadh ag teochtaí níos ísle (200-250 céim ), ag cruthú -iarmhair saibhre carbóin. I láthair ábhar salaithe orgánacha (hidreacarbóin, iarmhair photoresist, bealaí), tarlaíonn pirealú ag teochtaí níos ísle, ag foirmiú cosáin seoltacha cosúil le graifít. Laghdaíonn an fuinneamh gníomhachtaithe le haghaidh graifítiú (Ea) de réir mar a mhéadaíonn luchtú an éillithe:
| Leibhéal Éillithe Dromchla (µg/cm²)|Fuinneamh Gníomhachtaithe le haghaidh Graifítiú (kJ/mol)|Teocht le haghaidh Carbónú 10% i 1000h le Corona|Sceitheadh Reatha ag 230V, 200 céim (µA) |
| --- | --- | --- | --- | --- |
| <0.01 (clean room handled) | 250 | >280 céim |<0.1 |
| 0.01-0.1 (glan caighdeánach)|220|260 céim|0.5 |
| 0.1-1.0 (fab tipiciúil)|180|230 céim|5 |
| 1.0-10 (drochláimhseáil)|150|210 céim|50 |
| >10 (oll-éilliú)|120|190 céim|500+ |
Coinníollacha Scaoilte Corona in Aerthéitheoirí
Tarlaíonn urscaoileadh corónach ag pointí géara nó lochtanna faoi strus ard leictreach. I gcás téitheoirí 230V, is é 400-600V an voltas tosaithe corónach. Mar sin féin, san aer ag 200 céim agus brú an atmaisféir, is féidir le corónach tarlú ag voltais níos ísle má íslíonn éilliú dromchla an tairseach ianúcháin. Dianscaoileann ábhair shalaithe orgánacha faoin gcoróin, ag sil-leagan carbóin a chuireann tuilleadh le scaoileadh amach. Is féidir leis an aiseolas dearfach seo a bheith mar thoradh ar charbónú tapa in uaireanta.
Foinsí Éillithe agus Maolú
| Foinse Éillithe | Gnáthlódáil (µg/cm²) | Laghdú ea | Maolú |
|---|---|---|---|
| Méarloirg | 1-10 | dian | Láimhseáil lámhainní, wipe tuaslagóir |
| Gal photoresist | 0.1-1 | Measartha | Sceite áitiúil, suíomh téitheoir in aghaidh srutha na sliseog |
| Caidéil gal ola | 0.1-0.5 | Measartha | Ola-folúschaidéil saor in aisce, scagairí |
| Iarmhar pacáistithe | 0.05-0.2 | Éadrom | Glan pacáistiú an tseomra, bácáil amach roimh úsáid |
| Hidreacarbóin aerbheirthe | 0.01-0.05 | Íosráta | Scagachán HEPA/ULPA, scagairí carbóin gníomhachtaithe |
Tiús Balla agus Iomadú Carbónú
Nuair a chuirtear tús le carbónú, féadfaidh an cosán seoltaí iomadú tríd an mballa PFA. Soláthraíonn ballaí tiúsacha níos mó achair d’fhás cosán carbóin sula sroicheann siad an croí miotail:
| Tiús Balla | An t-am ó Thionscnamh go Trí-Balla Conair Carbóin ag 200 céim le héilliú 1 µg/cm² | Fachtóir Sábháilteachta i gcomparáid. 1.5mm |
|---|---|---|
| 1.5mm | 100 uair | 1.0x |
| 2.0mm | 250 uair | 2.5x |
| 2.5mm | 500 uair | 5.0x |
| 3.0mm | 900 uair | 9.0x |
Glanadh Dromchla agus Passivation
Baineann glanadh tuaslagóirí (isopropanol, aicéatón) ábhair shalaithe orgánacha ach féadfaidh sé iarmhair a fhágáil. Ocsaídíonn glanadh plasma (ocsaigin, 100W, 5 min) gach orgánach, ag baint amach<0.01 µg/cm² residual carbon. UV-ozone cleaning is also effective for PFA. For critical semiconductor dryers, specify plasma-cleaned PFA heaters with certification of surface contamination below 0.02 µg/cm² by contact angle measurement (high contact angle indicates cleanliness).
Treoir Sonraíochta do Théitheoirí Aeir Leathsheoltóra
Maidir le haer téite ag 200 céim i dtriomadóirí leathsheoltóra, sonraigh téitheoirí PFA le glanadh plasma roimh iad a sheoladh agus a phacáistiú i-málaí seomra glana. Teastas éillithe dromchla faoi 0.02 µg/cm² trí eastóscadh tuaslagóra agus GC-MS a éileamh. Maidir le tiús balla, sonraigh íosmhéid 2.5mm chun friotaíocht iomadaithe a sholáthar in ainneoin na gcleachtas glantacháin is fearr. Maidir le téitheoirí a nochtar do ghalanna fótairéiseach, cuir sceite áitiúil agus cuir na téitheoirí in aghaidh an tsrutha ó chriosanna próiseála sliseog. Agus luachan á n-iarraidh agat, luaigh go bhfuil na téitheoirí le haghaidh aersheirbhíse tirim glan le rian-rialú orgánach. Tá údar leis an bpréimh do ghlanadh plasma agus pacáistiú seomra glan (10-15% thar an gcaighdeán) trí shruth sceite a bhaineann le carbónú a dhíchur a d’fhéadfadh damáiste a dhéanamh do threalamh méadreolaíochta leathsheoltóra íogair. Maidir le córais atá ann cheana féin a bhfuil lochtanna talún neamhmhínithe orthu, déan anailís orgánach dromchla ar théitheoirí a baineadh as chun foinse éillithe a aithint.
