Is éard atá i Micreachórais Leictrimheicniúla, nó MEMS, na meaisíní bídeacha, dofheicthe taobh istigh de na braiteoirí a spreagann mála aeir cairr nó na méadair luasghéaraithe a rothlaíonn scáileán an fhóin chliste. Déantar an cóimhiotal pallaidiam-níicil atá mar chroílár struchtúrach agus leictreach na ngléasanna micreascópacha seo a leictreaphlátáilte ó fholcadán ceimiceach te, casta agus fíor-íogair. Is féidir le adamh iarainn nó copair aonair earráideach a thuaslagann ó théitheoir miotalach an folctha iomlán a éilliú, ag athrú comhdhéanamh an chóimhiotail agus ag milleadh feidhmíocht an fheiste críochnaithe. Caithfidh an tumthéitheoir a bheith dofheicthe go ceimiceach. Is é PTFE an fhoinse teasa dofheicthe sin. Míníonn an t-alt seo conasTéitheoir PTFE nicil MEMS plating Pallaidiamcurtha i bhfeidhm chun an íonacht fhoircneach atá riachtanach le haghaidh micreadhéantúsaíocht ardtáirgeachta a bhaint amach.
An Pallaidiam-Folctha Leictreaphlátála nicile do MEMS
Is gnách go n-oibríonn an folcadán cóimhiotail Pallaidiam-nicil (Pd-Ni) a úsáidtear i ndéanamh MEMS ag céim mhín 40-60 . Tá salainn Pallaidiam ann (go minic mar chlóiríd Pallaidiam nó coimpléisc diaimín Pallaidiam), salainn nicil (sulfamate nicil nó clóiríd nicil), agus meascán dílseánaigh de chobhsaitheoirí orgánacha, gealtóirí, agus laghdaitheoirí struis. Déantar an cheimic folctha a chothromú go cúramach chun cóimhiotal a thaisceadh le cóimheas Pd:Ni ar leith-go hiondúil 80:20 nó 70:30-a sholáthraíonn meascán de chruas ard, seoltacht leictreach maith, friotaíocht creimeadh, agus strus inmheánach íseal.
Tógtar gléasanna MEMS ar sliseoga sileacain trí úsáid a bhaint as patrúnú fótaileagrafach. Cruthaíonn an pallaidiam leictreaphlátáilte-chisealacha struchtúracha (amhail spriongaí, giaranna, agus cantíleoirí) nó rianta seoltacha. Is féidir le haon imeacht i gcomhdhéanamh cóimhiotail nó tabhairt isteach ábhar salaithe a bheith ina chúis le:
Méadú ar an strus inmheánach, rud a fhágann go bhfuil micreastruchtúir warped nó scáinte.
Greamaitheacht lag leis na sraitheanna bunúsacha.
sil-leagan neamh-éide trasna na sliseog.
Airíonna leictreacha nó maighnéadacha athraithe.
Cén fáth a bhfuil PTFE an Ábhar Téitheoir Éigeantach le haghaidh MEMS Plating
Tum-théitheoir caighdeánach miotail-fiú amháin clúdaithe le cruach dhosmálta, tíotáiniam, nó Incoloy-a thuaslagfaidh go mall isteach sa dabhach te leictreaphlátála ionsaitheach. Láisteann iain mhiotail (iarann, cróimiam, nicil, moluibdín) isteach sa tuaslagán. Cuireann na heisíontais mhiotalacha eachtracha seo isteach ar phróiseas an taiscthe leictriceimiceach. Is féidir iad a chomhthaisceadh isteach sa scannán Pd{-Ni, ag cruthú pointí struis logánta, nó is féidir leo freagairt le breiseáin folctha, ag laghdú a n-éifeachtúlachta.
Tá an téitheoir PTFE ina mhéar adamhach ciúin, te sa chliabhán íogair ceimiceach ina rugadh meaisíní micreascópacha na todhchaí. Tá an truaill PTFE go hiomlán támh don cheimic folctha. Níl aon mhiotail inléite ann. Scaoileann sé iain mhiotail atá fíor-nialas isteach sa tuaslagán leictreaphlátála. Ina theannta sin, cuireann an dromchla PTFE mín neamhghreamaithe cosc ar aon phallaidiam nó nicil ó phlátáil amach ar eilimint an téitheoir féin. Ní hamháin go n-ídódh plating den sórt sin na miotail lómhara costasacha ón tuaslagán ach d’athródh sé freisin dáileadh an tsrutha áitiúil sa dabhach, rud a d’fhágfadh sil-leagan míchothrom ar na sliseog.
Nóta Íonachta: Suiteáil Seomra Glan agus Leathsheoltóir-Grád PTFE
Éilíonn monarú MEMS fíorghlantacht, go hiondúil Aicme 100 (ISO 5) nó coinníollacha seomra glan níos fearr. Caithfidh an córas téimh teacht leis an gcaighdeán seo. Ba cheart an téitheoir PTFE féin a mhonarú asábhair ard-íonachta, leathsheoltóra-grád PTFE. D’fhéadfadh rian-líonta (snáithíní gloine, carbón, nó líocha) nó ábhair shalaithe déantúsaíochta iarmharacha a bheith i PTFE de ghrád níos ísle a d’fhéadfadh a bheith ag láisteadh isteach sa dabhach thar thréimhsí fada.
Ní mór suiteáil an téitheoir PTFE isteach san umar leictreaphlátála a dhéanamh freisin faoi phrótacail seomra glan. Ní mór flange gléasta an téitheoir, iontráil cábla, agus aon chónaisc a bheith déanta as fluarapolaiméir (PTFE, PFA, nó PVDF) nó ábhair eile nach-truaillithe. Ba cheart go mbeadh gach dromchla fliuchtaithe deimhnithe go dtí leibhéil mhiotail in-eastósctha faoi bhun na dtairseacha{-in aghaidh-billiún (ppb). Sonraíocht tipiciúil le haghaidh téitheoirí grád MEMS PTFE is ea gur chóir go mbeadh miotail in-eastósctha iomlána níos lú ná 50 ppb, le heilimintí aonair (iarann, copar, since, cróimiam) faoi bhun 10 ppb tar éis tástáil chaighdeánaithe eastósctha.
Cobhsaíocht Teochta le haghaidh Comhdhéanamh Cóimhiotail Comhsheasmhach
Tá -próiseas leictreaphlátála nicil-phallaidiam-íogair don teocht. Is féidir le hathrú díreach ±1 céim comhdhéanamh an chóimhiotail a athrú roinnt pointí céatadáin, toisc go bhfuil difríocht idir cinéitic sil-leagan Pallaidiam agus nicil le teocht. Coinníonn an téitheoir tumoideachais PTFE, nuair a bhíonn sé in éineacht le rialtóir teochta cruinneas (m.sh., teirmiméadar friotaíochta platanam nó aiseolas teirmeachúpla), an teocht folctha laistigh de ±0.5 céim . Cinntíonn an chobhsaíocht seo go bhfaighidh gach feiste MEMS thar wafer 200 mm nó 300 mm cóimhiotal Pd- Ni comhionann a bhfuil airíonna ábhair intuartha aige.
Caithfidh an téitheoir dáileadh teasa aonfhoirmeach a sholáthar ar fud an folctha freisin. Is féidir le róthéamh áitiúil in aice le dromchla an téitheoir na breiseáin folctha orgánacha a dhíghrádú nó athruithe pH neamhrialaithe a chur faoi deara. Cothaíonn seoltacht theirmeach measartha PTFE (≈0.25 W/m·K) agus úsáid il-théitheoirí beaga -trastomhas PTFE{- atá socraithe timpeall an umair teas réidh, fiú gan spotaí te.
Cur i bhFeidhm Praiticiúil i Línte Táirgthe MEMS
I ngnáthlíne déantúsaíochta MEMS, socraítear umair leictreaphlátála il-phallaidiam-nicil i mbinse fliuch. Coinníonn gach umar 10-100 lítear de thuaslagán folctha. Tá ceann amháin nó dhó téitheoirí tumoideachais PTFE, rátáilte do 500 W go 3 kW an ceann, báite i ngach umar. Oibrítear na téitheoirí ar dhlús vata íseal (5–15 W/cm² de ghnáth) chun fiuchphointe áitiúil nó díghrádú breiseán a sheachaint. Síneann an dlús íseal vata freisin saol an truaill PTFE.
Cuirtear corrú folctha ar fáil trí chorraíl mheicniúil mhín nó trí bholadh nítrigine. Cinntíonn agitation go ndéantar an teas a dháileadh agus go n-íoslaghdaítear an crios ídiú ag an dromchla wafer. Tá na téitheoirí PTFE suiteáilte ar shiúl ó na daingneáin a bhfuil wafer acu chun scáthú nó cur isteach ar na línte réimse leictrigh idir an anóid agus an catóide (wafer) a sheachaint.
Tá cothabháil rialta ar na téitheoirí PTFE íosta. Seasann an dromchla mín le scálaithe nó le tógáil. De ghnáth is leor iniúchadh amhairc tréimhsiúil-a dhéantar le linn scagacháin sceidealta folctha nó athsholáthar breiseán-. Ní gá aon taiscí creimeadh miotail a ghlanadh.
Buntáistí Thar Mhodhanna Malartacha Téimh
I measc na modhanna eile chun folcadáin íogair leictreaphlátála a théamh tá umair sheicéideacha seachtracha, malartóirí teasa graifíte, nó téitheoirí Grianchloch. Tá teorainneacha ag gach ceann acu maidir le plating MEMS-grád Pd-Ni:
Umair sheicéideacha sheachtracha:Tá téamh ón taobh amuigh mall agus mí-éifeachtach. Tá an aonfhoirmeacht teochta ar fud an folctha bocht, agus méadaíonn an limistéar dromchla umar mór an baol éillithe ó fhoinsí seachtracha.
Malartóirí teasa graifít:Is cineál carbóin é graifít agus is féidir léi cáithníní mín a scaoileadh isteach sa dabhach. Tá sé brittle agus deacair a ghlanadh freisin.
Téitheoirí Grianchloch:Tá Grianchloch támh agus glan, ach tá sé leochaileach agus is féidir le turraing teirmeach a bhriseadh. Tá seoltacht teirmeach níos ísle ag Grianchloch freisin ná PTFE, a éilíonn teochtaí dromchla níos airde, a fhéadfaidh breiseáin folctha a dhíghrádú.
Comhcheanglaíonn an tumthéitheoir PTFE táimhe ceimiceach, déineacht mheicniúil, éifeachtúlacht teirmeach agus íonacht iomlán-rud a fhágann gurb é an rogha is fearr le haghaidh Pallaidiam MEMS-leictreaphlátála nicil.
Conclúid: Teas Dofheicthe le haghaidh Meaisíní Dofheicthe
Is é tumthéitheoir PTFE an fhoinse teasa atá riachtanach, neamhthruaillitheach agus atá go hiomlán iontaofa le haghaidh nicilephlátála gairis MEMS, rud a chinntíonn an íonacht scála adamhach atá riachtanach dá bhfeidhm gan smál. Ní scaoileann an truaill PTFE aon iain miotail, ní chuireann sé in aghaidh comhpháirteanna luachmhara an folctha a phlaisteáil, agus soláthraíonn sé rialú teochta cobhsaí, aonfhoirmeach. Nuair a dhéantar é as -grád PTFE leathsheoltóra agus nuair a shuiteáiltear é faoi choinníollacha seomra glan, is áirgiúlacht thrédhearcach a bhíonn sa téitheoir-ní bhíonn ann ach ina éifeacht, ní ina éilliú.
Tógtar na meaisíní dofheicthe a fhágann gur féidir an saol nua-aimseartha a dhéanamh i ndabhach a théitear le plaisteach dofheicthe, támh. Ó luasmhéadair mhála aeir go braiteoirí brú go dtí micrea-eagair scátháin, braitheann feidhmíocht iontaofa gairis MEMS iomadúla ar an teas saor ón ábhar salaithe a sheachadann tumthéitheoir PTFE. Maidir le hinnealtóirí próisis sna tionscail leathsheoltóra agus micreadhéantúsaíochta, ní mionsonra é téitheoir PTFE le haghaidh pallaidiam a shonrú-leictreaphlátála nicil; tá sé ina réamhriachtanas le haghaidh toraidh.
