Caithfidh pláta téimh a fheidhmíonn mar chuck bhfolús freisin píosa oibre cothrom a tharraingt anuas ar a dhromchla ag an am céanna trí shúchán agus teagmháil theirmeach a choinneáil leis. Suíonn gairbhe an dromchla díreach ag crosbhóthar an dá riachtanas contrártha seo. Roghnú an ceartroughness dromchla Ra pláta téimh chuck bhfolústá comhcheangal riachtanach chun sealúchas iontaofa workpiece, aistriú teasa aonfhoirmeach, agus torthaí próiseála comhsheasmhach a bhaint amach.
Ról Dual an Dromchla Pláta Téimh
I pláta téimh chuck bhfolús, feidhmíonn an dromchla dhá fheidhm forluiteacha:
Séalaithe i gcoinne caillteanas bhfolús– Tá eiteacha meaisínithe nó cainéil atá nasctha le foinse folúis sa phláta. Cuirtear an píosa oibre cothrom (m.sh., wafer sileacain, leathán miotail, nó scannán tanaí polaiméire) ar a bharr. Caithfidh an teagmháil idir an workpiece agus limistéir talún an phláta (an dromchla soladach idir na grooves) séala a chruthú chun aer a chosc ó sceitheadh isteach sna bealaí bhfolús.
Seoladh teirmeach– Aistrítear teas ón pláta go dtí an saotharphíosa trasna na limistéar soladach teagmhála. Braitheann an t-achar teagmhála iarbhír ar gharbh an dromchla: ní dhéanann ach na buaiceanna asperity teagmháil, agus na gleannta scartha le bearnaí aeir micreascópacha a fheidhmíonn mar inslitheoirí teirmeacha.
Dá bhrí sin bíonn tionchar díreach ag gairbhe an dromchla ar fheidhmíocht séalaithe an fholús agus ar sheoladh teagmhála teirmeach. Is féidir leis an ngarbh atá sonraithe go míchuí an chuid a ardú, a aistriú, a róthéamh go háitiúil, nó go dteipeann air an teocht riachtanach a bhaint amach.
Cén Fáth a mbíonn Ró-Garbh mar Fhadhbanna
Má tá an dromchla ró-gharbh (m.sh., Ra > 1.6 µm, atá tipiciúil do garbh-mheilt nó dromchlaí meaisínithe), tarlaíonn roinnt iarmhairtí diúltacha:
Sceitheadh folúis– Cuireann na buaiceanna arda asperity cosc ar an bpíosa oibre suí go dlúth in aghaidh na limistéar talún. Sreabhann aer trí na bearnaí micreascópacha idir an workpiece agus an pláta, ag seachaint na grooves bhfolús. Féadfaidh an caidéal folúis tarraingt go leanúnach, ach laghdaítear an fórsa coinneála go mór nó cailltear go hiomlán.
Teagmháil teirmeach laghdaithe– Ní dhéanann ach na beanna is airde teagmháil mheicniúil. Féadfaidh an limistéar teagmhála iarbhír a bheith níos lú ná 10% den limistéar dealraitheach. Caithfidh teas na pointí teagmhála scoite seo a thrasnú, rud a chruthaíonn friotaíocht ard comhéadan teirmeach. Ritheann an píosa oibre níos fuaire ná an pointe socraithe, agus tá aonfhoirmeacht teochta ar fud na coda ag fulaingt.
Maidir le gnáth-fheidhmchláir chuck bhfolús le brúnna workpiece de 50-80 kPa (folús iomlán), táirgeann Ra os cionn 1.0 µm sceitheadh do-ghlactha agus feidhmíocht teasa lag.
Cén Fáth a Bhfuil Ró-réidh (Críochnaigh Scáthán) Fadhb freisin
D’fhéadfadh dromchla snasta (m.sh., Ra < 0.1 µm) a bheith oiriúnach le haghaidh séalaithe, ach tugann sé a shraith teipeanna féin isteach:
Swinging agus gaisteoireacht aeir– Nuair a chuirtear píosa oibre an-réidh cothrom ar phláta atá cothrom mín, is féidir leis an dá dhromchla a bheith “ag sreangadh” le chéile. Tá scannáin tanaí aeir gafa idir na dromchlaí, agus féadfaidh an saotharphíosa dul i bhfostú go sealadach. Mar sin féin, faoi bhrú cliathánach uirlise (m.sh., ó cheann piocadh agus áit nó squeegee), féadfaidh an saotharphíosa sleamhnú nó rothlú go tobann, rud a scriosann ailíniú. Cuireann an t-aer gafa cosc freisin ar theagmháil iomlán i bhfolús, toisc nach féidir leis an bhfolús an chuid a tharraingt anuas trí chiseal aeir séalaithe.
Frithsheasmhacht teagmhála teirmeach méadaithe– Go frith-intuigthe, is féidir le dromchlaí thar a bheith mín friotaíocht teirmeach a mhéadú. Gabhann an éifeacht "wringing" ciseal tanaí, stagnant aeir nach bhfuil díláithrithe go héasca. Is seoltóir teirmeach lag é aer (≈0.026 W/m·K). D’fhéadfadh an seoltacht teagmhála teirmeach a bheith níos ísle dáiríre ná mar a bheadh le dromchla mín talún áit a dtéann spéarthaí isteach sa scannán aeir.
Scratch agus íogaireacht éillithe– Taispeánann bailchríoch scátháin gach scratch, méarloirg nó cáithnín. Éiríonn ábhar salaithe le feiceáil agus féadfaidh siad an saotharphíosa a ardú go háitiúil, rud a chruthaíonn sceitheanna i bhfolús.
Mar sin, tá an bailchríoch dromchla ina fhadhb Goldilocks le haghaidh plátaí bhfolús: ní ró-gharbh, ní ró-réidh, ach díreach i gceart.
An Raon Garbhachta Molta: Ra 0.4–0.8 µm
Le haghaidh chuck bhfolús comhcheangailte agus pláta téimh, is é an raon garbh dromchla is fearr a nglactar leis go forleathanRa 0.4 go 0.8 micriméadar(thart ar 16-32 miocrón in aonaid impiriúla). Baintear an raon seo amach de ghnáth trímeilt fíneáilnórádlaithele scríobach oiriúnach.
Laistigh den raon seo:
Séalaithe folúis– Tá na beanna asperity íseal go leor (go hiondúil 3–5 µm buaic-go-ghleann airde do Ra 0.4) go bhfuil píosa oibre cothrom dífhoirmíonn na beanna beagán, ag cruthú séala beagnach leanúnach ar fud na réimsí talún. Íoslaghdaítear sceitheadh folúis.
Teagmháil teirmeach– Is leor an t-achar teagmhála chun seoladh maith teirmeach a sholáthar, agus de ghnáth baintear amach 50–70 % den uasmhéid teoiriciúil le haghaidh teagmhála soladach-soladach. Ligeann na micreaghleannta aon aer gafa a aslonnú, ionas gur féidir leis an bpíosa oibre socrú isteach i ndlúth-theagmháil.
Greim workpiece– Soláthraíonn an micrea-uigeacht coinnithe (an patrún mín talaimh) frithchuimilt i gcoinne gluaiseachta cliathánach. Cuirfidh cuid a chuirtear ar dhromchla Ra 0.6 in aghaidh sleamhnú faoi fhórsaí uirlisí measartha, ach is féidir é a bhaint go fóill gan greamaitheacht iomarcach.
Ba chóir a thabhairt faoi deara go mbraitheann an idéalach Ra beagán ar an ábhar workpiece. Comhlíonann ábhair bhoga (m.sh. scragall copair nó rubar silicone) níos éasca agus féadann siad dromchlaí beagán níos gairbhe a fhulaingt (suas go dtí Ra 1.0). Teastaíonn dromchlaí níos míne ó ábhair chrua, brittle (m.sh., sliseog sileacain nó gloine), ach fós os cionn Ra 0.2 chun wringing a sheachaint. Freastalaíonn an raon sonraithe 0.4–0.8 µm ar na teaglamaí is coitianta.
Garnacht an Dromchla a Thomhas agus a Shonrú
Is é Ra (gairbhe meánach uimhríochtúil) an paraiméadar is coitianta a úsáidtear le haghaidh plátaí téimh chuck bhfolús. De ghnáth déantar é a thomhas le próifíliméadar stíle a thrasnaíonn líne trasna an dromchla. Le haghaidh patrún meilt, ba cheart an tomhas a dhéanamh ingearach leis na marcanna meilt chun an próifíl garbh iomlán a ghabháil.
Ar líníocht innealtóireachta, ba cheart an bailchríoch dromchla a shonrú go soiléir. Nodaireacht shamplach:
Ra 0.6 µm (meileann, gan leagan treorach sonraithe)
nó
SR 0.4–0.8 µm in aghaidh an ISO 4287
Más rud é go bhfaighidh an pláta sciath (m.sh., nicil plating nó spraeála PTFE), caithfidh an garbhacht deiridh tar éis an sciath a bheith laistigh den raon sonraithe. Déanann go leor bratuithe garbh an tsubstráit a mhacasamhlú; féadfaidh daoine eile (cosúil le chrome crua nó nicil leictrilít) Ra a mhéadú nó a laghdú beagán ag brath ar thiús agus próiseas. I gcásanna den sórt sin, ní mór an tsubstráit a bheith meilte go garbh níos ísle ná an sprioc, agus an táirge brataithe críochnaithe a fhíorú trí thomhas.
Ról Patrún Groove agus Doimhneacht
Ní ráthaíonn roughness dromchla amháin feidhmíocht bhfolús. Tá an patrún groove (bíseach, ciorcail chomhlárnacha, gathacha, nó tras-hatched) agus doimhneacht groove chomh tábhachtach céanna. Le haghaidh pláta téimh, caithfidh na grooves dáileadh aonfhoirmeach teasa a cheadú freisin. Treoirlínte deartha coitianta:
Doimhneacht groove– Go hiondúil 0.2-0.5 mm. Ba chóir go mbeadh an t-achar talún idir grooves ar a laghad 2-3 uair an leithead groove.
Patrún groove– Is fearr grooves ciorclach comhlárnacha le bealaí nasctha gathacha, nó bíseach leanúnach amháin, don téamh mar go ligeann siad don phláta leathnú agus crapadh gan an geoiméadracht a shaobhadh.
Cóimheas achar talún– I gcás gairbhe an dromchla ar leith, tá an fórsa coinneála comhréireach leis an achar iomlán talún (an t-achar soladach nach bhfuil gearrtha ag grooves). Soláthraíonn gnáthlimistéar talún de 50–70% de dhromchla an phláta comhréiteach idir an fholúsghreim agus aonfhoirmeacht téimh.
Caithfidh garbh na limistéar talún a bheith mar an Ra sonraithe. Is féidir leis na íochtair groove a bheith níos gairbhe (go hiondúil mar mheaisín) toisc nach dtéann siad i dteagmháil leis an saotharphíosa.
Modhanna Déantúsaíochta chun Sprioc Ra a Bhaint Amach
Úsáidtear na modhanna seo a leanas go coitianta chun garbh an dromchla a theastaíonn ar phlátaí téimh chuck bhfolús a tháirgeadh:
| Modh | Raon tipiciúil Ra (µm) | Oiriúnacht |
|---|---|---|
| Muilleoireacht (mar-ghearradh) | 1.6–6.3 | Ró-gharbh; neamh-inghlactha |
| Meilt (roth garbh) | 0.8–1.6 | Foirceann uachtair, inghlactha le workpieces bog |
| Meilt mín (roth beachta) | 0.4–0.8 | Raon idéalach– molta |
| rádlaithe (scríobach saor in aisce) | 0.1–0.4 | Inghlactha ach amháin má rialaítear an teorainn íochtair go cúramach |
| Snasú | <0.1 | Ró-réidh; is cúis le wringing agus aerghaisteáil |
Tar éis an garbh ceart a bhaint amach, ba chóir an pláta a ghlanadh go críochnúil chun iarmhair scríobach a bhaint, ansin a thriomú agus a stóráil i dtimpeallacht ghlan. Déanfaidh aon éilliú ar an dromchla díghrádú ar an bhfolús séalaithe agus ar theagmháil theirmeach.
Bailíochtú Praiticiúil
Nuair a dhéantar pláta téimh a mhonarú go garbh sonraithe, is féidir a fheidhmíocht a bhailíochtú le dhá thástáil shimplí:
Tástáil ar lobhadh folúis– Cuirtear píosa oibre tástála soladach neamh-scagach (eg, pláta cruach dhosmálta a bhfuil a fhios go bhfuil maoile aige) ar an chuck. Cuirtear an córas folúis i ngníomh go dtí spriocleibhéal (m.sh., absalóideach 70 kPa). Tá an caidéal scoite amach ansin, agus déantar an t-ardú brú le himeacht ama a thomhas. Léiríonn ardú níos lú ná 5 kPa in aghaidh an nóiméid de ghnáth go bhfuil séalaithe inghlactha.
Tástáil seoltachta teagmhála teirmeach– Téitear an saotharphíosa tástála go dtí staid sheasta agus coinnítear an pláta ag teocht aithnid. Déantar an difríocht teochta ar fud an chomhéadain a thomhas le teirmeachúplaí leabaithe. Léiríonn difríocht níos lú ná 5 céim ag teocht pláta 100 céim teagmháil teirmeach leordhóthanach.
Má theipeann ar cheachtar den dá thástáil, ba cheart gairbhe an dromchla a thomhas arís agus b'fhéidir é a chur ar thalamh arís go bailchríoch níos míne (ach gan a bheith ró-mhín) laistigh den fhuinneog 0.4–0.8 µm.
Conclúid: Comhéadan Teirmeach-Meicniúil Ríofa
Is paraiméadar a ndearnadh innealtóireacht chruinn air a chinneann an t-urrús sealúchais agus an éifeachtúlacht aistrithe teasa go díreach é garbh an dromchla de phláitín teasa folúis. Roghnú na láimhe deiseroughness dromchla Ra pláta téimh chuck bhfolúsciallaíonn comhcheangal dromchlaí ró-gharbh a sheachaint (a sceitheann folús agus a sheolann teas go dona) agus dromchlaí scátháin-snasta (a ghabhann aer agus a cheadaíonn sleamhnú). Soláthraíonn an raon is fearr-Ra 0.4 go 0.8 µm, a bhaintear amach trí mhínmheilt-séalú iontaofa i bhfolús, limistéar teagmhála teirmeach maith, agus dóthain micrea-uigeacht le haghaidh greim an phíosa oibre. Is é an rud is cosúil le bailchríoch simplí ná comhéadan teirmeach-meicniúil ríofa. Cinntíonn sonraíocht, tomhas agus fíorú an gharbhais seo go gcomhlíonfaidh an pláta téimh a ról dúbailte go comhsheasmhach, baisce tar éis baisce, gan páirtghluaiseacht nó neamh-aonfhoirmeacht theirmeach.
