Éilliú Hidden i Sonraí Meicniúla
Fiú amháin le hábhair atá oiriúnach don fholús, is féidir le cóimeáil atá deartha go dona gáis a choinneáil i bpócaí micreascópacha-faoi chinn scriú, laistigh de phoill snáithithe, nó laistigh de dhromchlaí póiriúla. Shéid na gáis ghafa seo ar feadh uaireanta nó laethanta, ag milleadh an fholús. Is príomhdhisciplín dearaidh é cosc a chur ar na sceitheanna fíorúla seo. Is féidir le pláta téimh atá foirfe go teirmeach ach atá míchúramach go meicniúil córas ardfholús a dhéanamh do-úsáidte. Cleachtais éifeachtacha chuncosc a chur ar sceitheanna fíorúla pláta téimh i bhfolúsTosaíonn tionóil le tuiscint a fháil ar an áit a seithí gáis agus conas deireadh a chur leis na háiteanna folaithe sin.
Cad is Sceitheadh Fíorúil ann?
Ní sárú é sceitheadh fhíorúil trí bhalla an tseomra. Is méid beag gáis é atá gafa i scáinne, i bpóca nó in ábhar scagach a éalaíonn go mall isteach sa spás aslonnaithe. Murab ionann agus fíor-sceitheadh, a cheadaíonn insreabhadh leanúnach d’aer an atmaisféir, ídíonn sceitheadh fíorúil le himeacht ama ach féadann sé leanúint ar aghaidh ar feadh uaireanta nó fiú laethanta. Is éard atá i síniú sceitheadh fíorúil ná brú a thagann chun donais de ghnáth le linn an chaidéil tosaigh, a chobhsaíonn ansin ag bonnbhrú níos airde ná mar a bhíothas ag súil leis nó a thaispeánann eireaball mall, seasta ag dul in olcas nuair a dhéantar monatóireacht air le hanailíseoir gáis iarmharach.
I measc na bhfoinsí coitianta sceite fíorúla i gcomhthionóil plátaí téimh tá:
Poill tapáilte dall– Gás gafa faoi cheann scriú nó ag bun poll snáithithe.
Dromchlaí miotail forluiteacha– Dhá dhromchla réidh atá clampáilte le chéile gan cosán sceite; tá gás sa bhearna eatarthu.
Táthaithe scagach– Treá neamhiomlán nó poill phionna micreascópacha a scaoileann gás le himeacht ama.
Scoilteanna timpeall iatáin– Ionsátaí snáithithe nó seastáin nach bhfuil aeráilte go hiomlán.
Comhthionóil ilchisealacha– Leathairí teasa, cisil inslithe, nó lúibíní gléasta atá Cruachta gan eisí scaoilte.
Deireadh a chur le Toirteanna Gafa mar Riail Dearaidh Phríomhúil
Príomhriail deartha le haghaidh aon phláta téimh i bhfolús is ea deireadh a chur le toirteanna gafa. Ní mór gach cuas, poll snáithithe agus alt cúplála a scrúdú chun a chumas gás a ghabháil.
Crua-earraí Vented
Gabhann scriúnna caighdeánacha gás faoin gceann. Is féidir leis an spás idir taobh thíos ceann an scriú agus an cuntar, chomh maith leis na snáitheanna féin, méideanna suntasacha a sheasamh. Tá réiteach a úsáidscriúnna aeráilte– scriúnna le poll beag aiseach druileáilte tríd an lár ón gceann go dtí an barr. Ceanglaíonn an poll seo an toirt gafa faoin chloigeann leis an bhfolússpás, rud a ligeann don ghás éalú láithreach le linn an chaidéil síos. Freastalaíonn grooves scaoilte gearrtha isteach sna snáitheanna (ar feadh an fad snáithe) chun críche den chineál céanna. Mar mhalairt air sin, cruthaíonn barróg bheag nó leathán comhdaithe ar an suaitheantas snáithe cosán sceite.
I gcás nach bhfuil scriúnna aeráilte ar fáil, is féidir poll dall éadomhain a dhruileáil go dtí doimhneacht níos lú ná fad an scriú, ag fágáil cainéal vent ar feadh na snáitheanna. Mar sin féin, is é an modh is iontaofa ná scriúnna a bhfuil poll tréithe iontu a shonrú nó poill dalla a thiontú ina bpoll tríphoill nuair is féidir.
Sliotán agus Grooving Dromchlaí Cúplála
Nuair a bhíonn dhá phláta miotail boltáilte le chéile (mar shampla, pláta téimh ceangailte le struchtúr tacaíochta), glacann an limistéar teagmhála gás i neamhrialtachtaí dromchla micreascópacha. Má tá na dromchlaí snasta nó gasketed, is féidir leis an méid gafa a bheith suntasach. Is é an réiteach ná grooves vent a mheaisíniú ar cheann de na dromchlaí cúplála. Cinntíonn groove gathacha a shíneann ón lár go dtí an imeall, nó greille de chainéil éadomhain, go bhfuil aon ghás idir na plátaí ceangailte go díreach leis an bhfolús. Riail shimplí: ba cheart go mbeadh cosán vent in aon limistéar faoi iamh níos mó ná cúpla milliméadar cearnach.
Poill Snáithithe agus Ionsáigh
Is sceitheadh fhíorúil clasaiceach iad poill tapáilte dall. Ní féidir leis an ngás atá gafa ag bun an phoill éalú nuair a chuirtear an scriú isteach. Tá roinnt leigheasanna ann:
Tiontaigh an dallpholl ina pholl tríd má tá rochtain ar an taobh thall.
Druileáil poll vent beag (1-2 mm) ó bhun an poll dall go dtí an dromchla seachtrach nó go dtí cuas aeráilte.
Bain úsáid as cuir isteach snáithithe le groove vent nó le poll trína bhalla taobh.
Le haghaidh poill éadomhain, bain úsáid as scriú atá níos giorra ná doimhneacht an poll, ag fágáil cosán vent trí na snáitheanna.
Táthú le haghaidh Ionracas Fholúis
Ní mór do gach welds a bheith treá iomlán agus folús-daingean, gan aon phionuill, póiriúlacht ná comhleá neamhiomlán. Maidir le plátaí téimh, cuirtear na cleachtais seo a leanas i bhfeidhm:
Próiseas táthú– Is fearr táthú TIG (GTAW) le haghaidh cruach dhosmálta. Féadfar léas leictreon nó táthú léasair a úsáid le haghaidh rannóga tanaí.
Glanadh an chúl– Glantar cúl an táthaithe le gás támh (argón) chun ocsaídiú agus porosity a chosc.
Cigireacht– Déantar táillí a iniúchadh trí thástáil treáiteach ruaime nó trí sheiceáil sceite héiliam. Déantar sceite héiliam a bhrath le mais-speictriméadar (íogaireacht síos go 10⁻⁹ mbar·L/s) ar gach táthú taobh-folúis.
Uimh cuais dall táthú– I gcás ina bhfuil dhá chuid táthaithe timpeall a n-imeall, druileáiltear poll vent beag chun cosc a chur ar ghás a ghabháil sa toirt iata.
Glanadh chun Hidreacarbóin agus Truailleáin a Bhaint as
Fiú le dearadh meicniúil foirfe, outgasses éilliú dromchla. Tá regimen glantacháin dian éigeantach. Áirítear leis an seicheamh glantacháin tipiciúil le haghaidh cruach dhosmálta agus miotail eile atá comhoiriúnach le folús:
Glanadh alcaileach– Tumtar páirteanna i dtuaslagán glantach alcaileach te (eg, tiúchan 2-5% ag 60-80 céim ) le corraí ultrasonaic. Baineann sé seo olaí, ramhar, agus salachar siopa.
Rinsing– Rinsíní iolracha in uisce dí-ianaithe (DI), ag cascáidiú ó umar amháin go umar eile. Úsáideann an sruthlaithe deiridh uisce DI a bhfuil friotachas 18 MΩ·cm ar a laghad aige.
Aigéad pasivation(do chruach dhosmálta) – Tumadh i ndabhach aigéad nítreach 20-25% ag 50-60 céim ar feadh 20-30 nóiméad. Baineann sé seo iarann saor in aisce agus cruthaíonn sé ciseal cosanta ocsaíd cróimiam, ag laghdú outgassing uisce agus hidrigine.
Sruthlú deiridh– Sruthlú críochnúil in uisce DI arís.
Triomú– Triomaítear na codanna trí úsáid a bhaint as gás nítrigine glan, saor ó ola nó in oigheann glan ag 100-150 céim le haerchúrsaíocht scagtha HEPA.
Maidir le comhpháirteanna atá meaisínithe nó láimhseála, féadfar céim díghrádaithe tuaslagóra (ag baint úsáide as aicéatón nó alcól iseapróipile) i ndabhach ultrasonaic a chur leis roimh an glanadh alcaileach. Úsáideann gach próiseas glantacháin ceimiceáin úra scagtha.
Tar éis glantacháin, ní láimhseáiltear páirteanna ach amháin le lámhainní nítríle nó laitéis atá saor ó phúdar, tuaslagóir-resistant. Tá olaí agus salainn i méarloirg a sháraíonn gás ag leibhéil folúis faoi bhun 10⁻⁅ mbar. Nuair a chuirtear le chéile iad, níor cheart aon éilliú breise a thabhairt isteach.
Bácáil Amach mar Nós Imeachta Caighdeánach Coimisiúnaithe
Baintear éilliú dromchla trí ghlanadh, ach fanann roinnt gáis ionsúite san ábhar mórchóir. Nós imeachta caighdeánach coimisiúnaithe le haghaidh plátaí téimh i bhfolús is ea bácáil amach. Cuirtear an pláta cóimeáilte i ndlísheomra folúis (nó, má tá an pláta suite cheana féin i seomra an úsáideora, bácáiltear an seomra iomlán). Déantar an pláta a théamh go teocht ardaithe agus na caidéal folúis ag rith, ag tiomáint as gal uisce ionsúite agus iarmhair so-ghalaithe.
Paraiméadair bhácáil tipiciúil:
Teocht– 150-250 céim , teoranta ag an gcomhpháirt is lú teocht-fhulangach. Is minic gur féidir le fothaí beatha ceirmeacha-go-miotail 400 céim a sheasamh; Teorainníonn comhpháirteanna PTFE (más ann dóibh) bácáil amach go 150 céim . Maidir le tógáil uile-mhiotail, tá 250 céim ar feadh 24 uair an chloig tipiciúil.
Fad- 12 go 48 uair an chloig, ag brath ar an méid agus glanadh roimhe seo. Tá amanna bácála níos faide ag teastáil le haghaidh tionóil mhóra nó chasta.
Brú– Coinnítear an seomra i bhfolús le linn an bhácáil amach, go hiondúil faoi bhun 10⁻⁵ mbar. Is féidir le glantachán támh gáis (nítrigin nó argón) le linn téimh cuidiú le gáis éabhlóidithe a iompar.
Fuarú– Tar éis é a bhácáil amach, fuaraítear an pláta go mall go teocht an tseomra agus é faoi fholús. Is féidir le fuarú tapa taise a ionsú ón atmaisféar má dhéantar an seomra a aeráil roimh am.
Tiomáineann bácáil amach ní amháin uisce (mais 18) ach freisin hidreacarbóin (maiseanna 41, 43, 55, 57) nár baineadh trí ghlanadh. Fíoraítear éifeachtacht an bhácáil trí mhonatóireacht a dhéanamh ar an mbrú agus trí úsáid a bhaint as anailísí gáis iarmharach (RGA). Ba cheart go dtabharfadh bácáil amach rathúil an bonnbhrú chuig sonraíocht an chórais (eg, 10⁻⁹ mbar) gan aon bhuaicphointí suntasacha seachas hidrigin, héiliam, agus uisce ag leibhéil rian.
Cleachtais Bhreise le hAghaidh Amach a Chosc
Roghnú ábhar– Ní úsáidtear ach ábhair a bhfuil gás íseal leo. Le haghaidh insliú leictreach, cuirtear coirníní ceirmeacha nó criadóireacht alúmana in ionad aon inslitheoirí plaisteacha. Mura féidir inslitheoirí polaiméire a sheachaint, féadfar polyimide folúis-bhácáilte (Kapton) nó PTFE a úsáid go gann tar éis réamhbhácáil.
Críochnú dromchla– Laghdaíonn bailchríoch dromchla mín (Ra Níos lú ná nó cothrom le 0.8 μm) achar dromchla ar féidir leis gás asaithe a sheasamh. Laghdaíonn leictreaphlású déanta as cruach dhosmálta an t-éalú tuilleadh.
Seachain bratuithe scagach– Ní úsáidtear alúmanam anodized, scálaí ocsaíde, nó dromchlaí péinteáilte. Má tá sciath dubh ag teastáil le haghaidh emissivity, tá sciath tanaí-comhoiriúnach le folús, amhail Pyromark® (tar éis leigheas iomlán agus bácáil amach) inghlactha.
Uimh greamacháin nó téipeanna– Ní úsáidtear aon téip polyimide, eapocsa, nó greamacháin eile taobh istigh den bhfolús. Tá gach nasc meicniúil (clampáilte, scriúdaithe, táthaithe) nó brazáilte le cóimhiotal folúis-phrásála.
Fíorú Tar éis Tionóil
Tar éis an pláta téimh a chur le chéile, a ghlanadh agus a bhácáil, déantar seiceáil sceite agus tástáil outgassing. Tá an pláta cóimeáilte suiteáilte i ndlísheomra folúis tástála. Déantar an seomra a phumpáil síos go dtí an brú bonn atá ag teastáil, agus déantar an ráta ardú brú (agus na caidéil a chomhlachú) a thomhas. Léiríonn ráta ardú íseal (m.sh., < 1 mbar·L/s in aghaidh an mhéadair chearnaigh de dhromchla) gur éirigh go maith le sceitheadh fíorúil agus le héalú amach. Deimhníonn tástáil spraeála héiliam ar gach rónta, welds, agus feedthroughs nach bhfuil aon sceitheadh dáiríre.
Achoimre
Cuireann dearadh meicniúla meicniúla agus dianghlanadh deireadh leis na foinsí dofheicthe de ghású a dhíghrádaíonn feidhmíocht an fholús. Coisctear sceitheanna fíorúla trí úsáid a bhaint as scriúnna aeráilte, grooves vent a mheaisíniú i ndromchlaí cúplála, poill dalla a thiontú go poill trí, agus táthaithe lántreáite a chinntiú. Baintear éilliú hidreacarbóin trí ghlanadh ultrasonaic, díghrádú tuaslagóirí, agus pasivation aigéad. Tiomáineann bácáil amach rialaithe faoi fholús ag 150-250 céim gáis ionsúite roimh choimisiúnú. Sainmhíníonn glaineacht agus aird ar mhionsonraí meicniúla cáilíocht i dtrealamh ardfholús. Trí na prionsabail seo a chur i bhfeidhm, is féidir le hinnealtóirícosc a chur ar sceitheanna fíorúla pláta téimh i bhfolústionóil, ag baint amach oibríocht iontaofa, ísealbhrú le haghaidh sil-scannáin tanaí, anailís dromchla, nó feidhmeanna insamhalta spáis. Is é an toradh pláta téimh a sheachadann teas aonfhoirmeach gan cur isteach ar an timpeallacht bhfolús.
